聚焦離子束加工技術

  聚焦離子束技術是一種集形貌觀測、定位制樣、成分分析、薄膜沉積和刻蝕各個過程于一身的新型納米加工與分析技術。MNMT 利用聚焦離子束技術,能夠進行聚焦離子束刻蝕加工,同時可實現在線電鏡高分辨率檢測;通過氣體注入系統進行鉑沉積,結合樣品微操作裝置,可進行微/納結構與器件的制備和結構優化研究。主要研究方向包括高精度復雜微/納結構和器件、微刀具、碳納米管器件及TEM樣品制備等。目前,MNMT 已經成功開發了西門子星、小于100nm 線寬的納米掩模、生物光學芯片及微納衍射光學元件等高精度難加工關鍵器件。


應用范圍

 高精度復雜的微納米結構和器件的加工與制造

 微電子集成電路的缺陷檢測分析和修復

 TEM 樣品的制備和提取

 微納米生物芯片和光學器件加工

 微刀具制造

 微機電系統(MEMS)加工